MTS位移傳感器的發展要考慮到生產設備的材料，隨著材料科學的進步，傳感器種類越來越多，除早期使用的半導體材料、陶瓷材料以外，光導纖維以及超導材料的開發，為傳感器的發展提供了物質基礎。如根據以硅為基體的許多半導體材料易于微型化、集成化、多功能化、智能化，及半導體光熱探測器具有靈敏度高、精度高、非接觸性等特點，發展紅外傳感器、激光傳感器、光纖傳感器等現代傳感器;在敏感材料中，陶瓷材料、有機材料發展很快，可采用不同配方混合原料，在精密調配化學成分的基礎上，經高精度成型燒結，得到對某一種或某幾種氣體具有識別功能的敏感材料，用于制成新型氣體傳感器。此外，高分子有機敏感材料是近幾年人們極關注的具有應用潛力的新型敏感材料，可制成熱敏、光敏、氣敏、濕敏、力敏、離子敏和生物敏等傳感器。傳感器技術的不斷發展，也促進了更新型材料的開發。

　　位移傳感器向著集成化、多功能化、智能化方向發展：

　　集成化包括兩種定義，一是同一功能的多元件并列化，即將同一類型的單個傳感元件用集成工藝在同一平面上排列起來，排成一維的為線性傳感器，CCD圖象傳感器就屬于這種情況；集成化的另一個定義是多功能一體化，即將傳感器與放大、運算以及溫度補償等環節一體化，組裝成一個器件。隨著集成化技術的發展，各類混合集成和單片集成式壓力傳感器相繼出現，有的已經成為商品。集成化壓力傳感器有壓阻式、電容式、等類型，其中壓阻式集成化傳感器發展快、應用廣。傳感器的多功能化也是其發展方向之一?？梢哉f智能傳感器是傳感器技術與大規模集成電路技術相結合的產物，它的實現將取決于傳感技術與半導體集成化工藝水平的提高與發展。這類傳感器具有多能、高性能、體積小、適宜大批量生產和使用方便等優點，可以肯定是傳感器重要的方向之一。